一般來說,真空閥的設計原則應該有以下幾點
1.閥門的密封性能好,不僅閥板關閉處的漏氣率小,而且閥體的漏氣率也小;
2.閥門密封件的耐磨性好,特別是閥座和閥板密封件應能反復使用,使用壽命長;
3.閥門的傳導率應該很大;
4.閥門材料應具有低飽和蒸汽壓、高耐腐蝕性和高化學穩定性;
5.超高真空閥應耐烘烤,烘烤溫度一般不低于150℃,最高450℃;
6.閥門應結構簡單、造型美觀、輕便、啟閉靈活,并應有啟閉狀態標志。大型閥門應有升降裝置,便于操作和維護。
7.閥門零件加工工藝較好,表面處理技術先進,閥門連接法蘭應符合真空法蘭國家標準的要求。
選擇真空閥的主要注意事項如下
1.應用真空區域;
2.關閉時閥門兩側的壓差;
3.閥門的泄漏率;
4、能承受烘烤溫度;
5、能承受環境溫度;
6.根據開啟/關閉時間的壽命;
7.如果是超高真空金屬閥,還需要知道其允許的升溫速率和降溫速率。